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廣州粵芯半導(dǎo)體技術(shù)股份有限公司

工業(yè)領(lǐng)域案例
訪問次數(shù):

案例詳情

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       項目地址:

      廣東省廣州市黃埔區(qū)鳳凰五路28號

  項目概況:

      5 號建筑(生產(chǎn)廠房 1)二層、三層、四層潔凈區(qū),四層 MAU機房,一層潔凈與非潔凈實驗室;4 號建筑(生產(chǎn)調(diào)度廠房)一層實驗室區(qū)域、四層潔凈更衣室區(qū)域、五層工藝連廊區(qū)域;4A 連廊;5A 連廊,涉及光刻區(qū)、濕法蝕刻、刻蝕區(qū)、離子注入?yún)^(qū)等多道工藝,控制精度溫度±1℃,濕度3%

  效益價值:

  1)建立廠務(wù)智控系統(tǒng)管理平臺FMCS,實時顯示系統(tǒng)動態(tài)參數(shù)、運行狀態(tài)和故障情況

  2)打破數(shù)據(jù)孤島,整合眾多設(shè)備數(shù)據(jù),實現(xiàn)數(shù)據(jù)互聯(lián)互通,針對重要數(shù)據(jù)的趨勢記錄,提高設(shè)備的運行穩(wěn)定性  

       3)廠務(wù)FMCS集成系統(tǒng),提升了企業(yè)綜合管理能力,節(jié)約系統(tǒng)運行能耗,具有較好的社會效益和經(jīng)濟效益  

       4)智能型、節(jié)約型企業(yè)形象更優(yōu),進一步提升企業(yè)知名度和影響力 


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